| 型号 | PSD2 | PSD4-STD（标准） | PSD4-HFV（高流量） | PSD4-HPO（高压输出） |
| 性能 |
| 出气量 |
| 流量 | 7 Nl/min (14.8 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) | 90 Nl/min (109.7 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) |
| 压力 | 4.8 barg (70 psig) | 用户最高可设置为8 barg(116 psig) |
| 湿度 | <1ppmv | <13.8ppbv |
| 供气要求 |
| 供气 |
| 流量 | 10 Nl/min (21.2 scfh) | 45 Nl/min (95.4 scfh) | 105 Nl/min (222.5 scfh) | 45 Nl/min (95.4 scfh) |
| 压力 | 5 ~ 7 barg (70 ~ 100 psig) | 6 ~ 10 barg (87 ~ 145 psig) |
| 湿度 | 不含油和液态水 | <16ppmv |
| 电气参数 |
| 电源 | 100 ~ 115 或 220 ~ 240 VAC, 50/60Hz | 100 ~ 240VAC 50/60Hz |
| 电源连接 | IEC 插座 |
| 环境条件 |
| 工作温度 | +5 ~ +35°C (+41 ~ +95°F) | +10 ~ +40°C (+50 ~ +104°F) |
| 储存温度 | -40 ~ +35°C (-40 ~ +95°F) | -40 ~ +50°C (-40 ~ +122°F) |
| 机械参数 |
| 类型 | 两个干燥柱，变压切换 |
| 干燥剂 | 4 A分子筛干燥剂（4-8目） |
| 所需的量（近似值） | 2 Kg | 3.5 Kg |
| 计时器 | 机械凸轮 | 可编程继电器 |
| 气体连接 |
| 入口 | Swagelog ® ¼" | ¼" VCR Swagelok® 接头 |
| 出口 | Swagelog ® ¼" | ¼" VCR Swagelok® | ½" VCR Swagelok® | ¼" VCR Swagelok® |
| 过滤器 |
| 出口 | 无 | Millipore Wafergard IIF Micro Inline（密封型）PTFE圆片过滤膜，对0.003pm颗粒的过滤效果>99.999% |
| 排气口 | 无 | 粘结玻璃微纤维，对0.1μm颗粒的过滤效果>99.999% |
| 结构 | 机架安装：19” x 6U x 324mm (12.8”) | 304不锈钢壁挂式外壳：800x600x300mm (31.5x24x12”) |
| 重量 | 12.5kg (27.5lbs) | 30Kg (66lb) | 35Kg (77lb) | 32Kg (70lb) |
