| 进气口数量 |
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| 标准功能 |
- 前置气流快速循环旁通阀 & 流量计
- 干触点远程提供所选气流的状态
- 通过 12VDC 或 24VDC 电源进行本地或远程控制
- 前置旋钮开关选择器用于本地控制
- 可选电动或气动阀
- 颗粒过滤器熔块型10微米安装在每个进气口
- 可选吹扫气动阀或三通电动样气旁通阀
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| 选件 |
- BRP : 样气出口背压调节器，保持超高纯度样气出口压力恒定控制
- VPB : 有毒和/或危险气体吹扫阀箱
- PG : 吹扫气体入口流量计/阀安装在前面板上，用于调整隔膜阀吹扫流速
- PR : 气流进口内联压力调节器，用于将气流压力降低并调节到最大工作压力以下
- C : 腐蚀性或吸收性气体涂层
- MBP : 样气压力低于2-3 psig 时的金属波纹管泵
- O2 : 氧清洁认证
- DBB : 双阻塞和放气配置
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| 样气前置旁通阀/流量计量程 (快速循环) |
- 0 至 500 ml/min 参照默认安装的空气 (可选用于快速净化的更大范围)
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| 进气 & 出气连接 |
- 1/16’’- 1/8’’- 1/4’’ 不锈钢压缩配件 Swagelok 兼容
- 1/8’’ - 1/4’’ 不锈钢高纯度表面密封 (VCR)
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| 吹扫气体通风口连接 |
- 1/8’’ - 1/4’’ 不锈钢压缩配件 Swagelok 兼容
- 1/8’’ - 1/4’’ 不锈钢高纯度表面密封 (VCR)
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| 电源 |
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| 功耗 |
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| 最大工作压力 |
- 30 PSIG (206Kpa) 带3通阀版
- 300 PSIG (2068Kpa) 带不锈钢隔膜阀版.* 100PSIG 以上前置气流旁通阀不可用
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| 最小工作压力 |
- 3 PSIG (20Kpa) (应用最小压力和真空模式可以通过增加可选的金属波纹管泵来实现)
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| 标称工作压力 |
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| 远程控制电压输入 |
- 12 VDC 或 24VDC @ 200mA 最大
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| 重量 |
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